순수 압축 가스의 유량 측정
순수 공기, 질소, 아르곤 및 헬륨의 비방해적 유량 측정
반도체 제조에서 고가의 순수 가스 모니터링
반도체 제조에서는 질소(HP N2), 아르곤(HP Ar), 헬륨(HP He), 깨끗한 건식 공기(CDA)와 같은 고순도 압축 가스가 다양한 공정에서 중요한 역할을 합니다. 질소는 일반적으로 산화 및 오염을 방지하기 위해 퍼지 및 불활성화에 사용됩니다. 아르곤은 불활성 특성 때문에 플라스마 에칭 및 스퍼터링에 필수적이며 정밀한 소재 제거 및 침착을 보장합니다. 열전도성이 뛰어난 헬륨은 냉각 시스템과 누출 감지에 매우 중요합니다. 오염 물질이 없는 순수한 공기가 깨끗한 공간 환경에서 사용되며 엄격한 품질 표준을 유지합니다.
이러한 값비싼 가스의 유량 측정은 지속적인 비용 제어, 공정 제어, 효율성 및 안전을 보장하는 데 중요합니다. 정밀한 유량 모니터링을 통해 정확한 가스 전달이 가능하여 폐기물을 최소화하고 제조 공정에서 최적의 성능을 보장합니다.
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제품 솔루션
Flexim FLUXUS G721 CA 압축 공기 유량계는 비방해적 클램프온 초음파 기술을 사용하여 매우 낮은 압력(강철 라인에서 최대 3bar, 플라스틱 라인의 대기 압력)에서도 압축 공기 유량을 측정하는 데 적용할 수 있다는 점이 특징입니다. 또한 최저 유속까지 정확하게 포착하여 누출이 발생해서는 안 되는 위치의 미세한 누출로 인한 약한 유속까지 발견합니다. FLUXUS G721 CA는 특히 압축 공기 그리드의 개별 포인트에서 추출된 유량을 비방해적 방식으로 측정하고 내부의 누출을 감지하는 데 적합합니다.
Flexim FLUXUS G601 CA 에너지는 휴대용 장치 하나로 압축 공기 유속 측정과 열에너지량 모니터링 및 액체 또는 기체 매체의 유량을 결정하여 업계 및 시설 관리(DIN ISO 50001 표준에 따름) 분야에서 완벽한 에너지 효율 관련 작업을 수행하기에 적합한 도구입니다. 전체 압축 공기 인프라 조사, 시설 균형 조정, 대부분의 개별 레그 측정, 압축기 효율성 결정, 누출 정량화 및 국부화 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 3bar 이상으로 가압된 내부 직경 DN6부터 최대 DN2100까지 측정합니다.
Flexim FLUXUS G532 압축 공기 초음파 유량계는 압축 공기 및 기술 가스량을 측정하도록 특별히 설계되었습니다. 온도 및 압력 센서의 온라인 측정 데이터를 처리할 수 있는 표준 체적 유량 계산 기능이 내장된 소형 압축 공기 유량계입니다. 입증된 경과 시간차 방식은 특히 압축 공기 및 기술 가스의 경우 0.03ft/s 이하의 유속이 감지되고 항상 양방향 측정을 수행하며 습기, 오일 또는 먼지 입자의 영향을 받지 않는 등의 큰 이점을 제공합니다. FLUXUS G532 CA에는 USB 및 LAN 인터페이스가 탑재되어 있으며, Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP, M-Bus 등의 공통 통신 인터페이스를 가동합니다.
Flexim FLUXUS G731 CA 압축 공기 유량계는 비삽입형 클램프온 초음파 기술을 자랑하며 매우 낮은 압력(강철 라인에서 최소 3bar, 플라스틱 라인의 대기 압력)에서도 압축 공기 유량을 측정하는 데 사용할 수 있다는 점이 특징입니다. 또한 가장 낮은 유량도 정확하게 캡처하여 가장 작은 양의 누출도 찾아냅니다. FLUXUS G731 CA는 특히 압축 공기 그리드의 개별 포인트에서 추출된 유량을 비삽입 방식으로 측정하고 내부의 누출을 감지하는 데 적합합니다.
